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公司基本資料信息
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PEM050 電子步進泵可在 PTFE 流體路徑中精確分配 1-50 毫升腐蝕性介質，用于化學補充、混合、計量和加料應用。這些可靠的泵具有完全支撐的滾動隔膜，可最大限度地提高排放壓力能力。正控制閥通過消除止回閥常見的可變性來確保準確性。它們提供最多 5 個排放端口，可通過可編程系統邏輯獨立控制。
PPM100 氣動計量泵可在 PTFE 流體路徑中精確分配高達 100 毫升的高純度化學品。它采用全支撐滾動隔膜操作，以最大程度地提高排放壓力能力。兩個正控制閥通過消除止回閥常見的可變性來確保準確性。
White Knight 計量泵提供可調節的流量，可用于單晶圓處理工具或預混容器，以確保精確的化學混合物，并允許直接在頭部進行現場混合。這些泵可精確分配高純度化學品，用于補充、混合、計量和加料應用，以及清潔 CVD 設備和光刻。它們是光刻膠、蝕刻和清潔工藝、食人魚混合物中的過氧化物加料以及在引入基材之前將化學混合物混合到工藝罐中的理想選擇。
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PEM050
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PPM100
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|---|---|---|
| 分配范圍 |
每沖程 1 - 50 毫升
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每沖程 10 - 100 毫升
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| 分配重復性 |
± 0.01%（滿量程）
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± 0.1%（滿量程）
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| 每分鐘循環次數 |
最高可達 6 CPM
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最高可達 12 CPM
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每循環空氣消耗量SCF |
1-3 標準立方英尺/分鐘
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0.038-0.048 標準立方英尺/分鐘
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| 流體路徑材料 |
聚四氟乙烯
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聚四氟乙烯
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| 閥門驅動 氣壓 |
4.14 - 5.52 巴
（60 - 80 磅/平方英寸） |
4.14 - 5.86 巴
（60 - 85 磅/平方英寸） |
| 最大排氣壓力 |
3.8 巴
（55 磅/平方英寸） |
5.86 巴
（85 磅/平方英寸） |
| 溫度能力 |
最高 100°C
(212°F) |
最高 100°C
(212°F) |
| 重量 |
2.95 千克
（6.5 磅） |
1.6 千克
（3.5 磅） |
| 吸程* |
4.6 米
（15 英尺） |
4.6 米
（15 英尺） |
| 溝通 |
串行、以太網或數字（0-5 V、0-10 V、4-20 mA）
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| 泄漏檢測選項 |
閥門位置傳感
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閥門位置傳感
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PEM050
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PPM100
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*吸力隨時間減小。建議安裝高度低于源頭上方 4.6 米（15 英尺）。優化的參數可以提高重復性（高達 ± 0.01%）。盡量減少吸力以最大程度地提高重復性。測試在環境溫度下用水進行。分配范圍在全行程測量，最大和最小供應壓力分別為 80 psi 和 60 psi。詳情請聯系 White Knight。
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“A”
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“B”
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|---|---|---|
| PEM050-02 |
2.7（69）
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11.0（279）
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| PEM050-03 |
4.2（107）
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12.5（318）
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| PEM050-04 |
4.2（107）
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12.5（318）
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| PEM050-05 |
5.7（145）
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14.0（356）
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| PEM050-06 |
5.7（145）
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14.0（356
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